超精密升降平台 Precision_Lifting_unit


運用高精密導柱與精密級導軌斜率結合的精密升降平台Precision Lifting unit®

特徵:運用Guide Master®超精密多邊形導柱

高精度,空間節省,高靈活性,高鋼性及高速運行

平台平面度5um,

上下直線度2um(行程10mm),

重複定位精度+-3um.

用途:面板OME檢測,位置決定,Z,精密檢測設備,鏡頭檢測等.


精密升降平台Precision Lifting unit®影片介紹



精密升降平台Precision Lifting unit®實際運作影片

1.高精度

使用專利Guide Master,實現高精度運行,低預壓,直線度提升,維持穩定高精度,使用精密級導軌和螺桿實現高精度移送。

2.高剛性

運用高剛性多邊形Guide Master,提高直線度,減少發生振晃動,維持順暢運行及穩定的精度。

3.空間節省

 下部使用精密級導軌,利用斜率達成精密移動的構造。

面板OME檢測

位置決定

精密檢測設備

鏡頭檢測