超精密升降平台 Precision Lifting unit

運用高精密導柱與精密級導軌斜率結合的精密升降平台Precision Lifting unit®

特徵:運用Guide Master®超精密多邊形導柱

高精度,空間節省,高靈活性,高鋼性及高速運行

平台平面度5um內,

上下直線度2um(行程10mm),

重複定位精度+-3um.

用途:面板OME檢測,位置決定,Z軸,精密檢測設備,鏡頭檢測等.

精密升降平台Precision Lifting unit®影片介紹

精密升降平台Precision Lifting unit®實際運作影片

1.高精度

使用專利Guide Master，實現高精度運行，低預壓，直線度提升，維持穩定高精度，使用精密級導軌和螺桿實現高精度移送。

2.高剛性

運用高剛性多邊形Guide Master，提高直線度，減少發生振晃動，維持順暢運行及穩定的精度。

3.空間節省

 下部使用精密級導軌，利用斜率達成精密移動的構造。

面板OME檢測

位置決定

精密檢測設備

鏡頭檢測