運用高精密導柱與精密級導軌斜率結合的精密升降平台Precision Lifting unit®
特徵:運用Guide Master®超精密多邊形導柱
高精度,空間節省,高靈活性,高鋼性及高速運行
平台平面度5um內,
上下直線度2um(行程10mm),
重複定位精度+-3um.
用途:面板OME檢測,位置決定,Z軸,精密檢測設備,鏡頭檢測等.
精密升降平台Precision Lifting unit®影片介紹
精密升降平台Precision Lifting unit®實際運作影片
1.高精度
使用專利Guide Master，實現高精度運行，低預壓，直線度提升，維持穩定高精度，使用精密級導軌和螺桿實現高精度移送。
2.高剛性
運用高剛性多邊形Guide Master，提高直線度，減少發生振晃動，維持順暢運行及穩定的精度。
3.空間節省
下部使用精密級導軌，利用斜率達成精密移動的構造。
面板OME檢測
位置決定
精密檢測設備
鏡頭檢測
